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半导体器件用镍铂靶材制备关键技术获重大突破

云南日报8月13日消息，经过刻苦攻关，云南省国际合作计划专项——“半导体器件用镍铂靶材的制备关键技术及产业化”取得重大突破，建立了生产线并取得良好经济效益，镍铂靶材替代了进口产品并远销海外。日前，由贵研铂业股份有限公司承担的该项目通过验收，总体评价为优秀。　　项目实施过程中，技术团队开展了镍铂靶的真空熔铸及塑性加工等方面的研究，在镍铂靶的微观结构及择优取向控制、含脆性相靶材的塑性加工技术、异型靶材

2018-08-17 16:00:36 镍铂靶

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